वेफर डिग्यूमिंग अलग करने के लिए एकीकृत क्लीनर सम्मिलित करना

वेफर डिगुमिंग, अलग करने और सम्मिलित करने के लिए एकीकृत क्लीनर (वेफर डिगुमिंग, स्प्लिटिंग और क्लीनिंग यूनिट) को विशेष रूप से स्वचालित सफाई के लिए डिज़ाइन किया गया है, बड़े कणों को हटाने, डिगुमिंग, स्लाइसिंग, सम्मिलित करना, और सेमीकंडक्टर वेफर्स की रासायनिक सफाई। यह उपकरण 8-इंच वेफर्स के लिए उपयुक्त है और इसमें फीडिंग, स्प्रे वॉशिंग, अल्ट्रासोनिक क्लीनिंग, हीटिंग, डिगुमिंग, प्लेट रिमूवल, ऑटोमैटिक स्लाइसिंग, कैसेट प्रविष्टि और रासायनिक कास्टिक वॉशिंग सहित पूरी तरह से स्वचालित प्रक्रिया है।

स्टैक किए गए वेफर्स को एक सक्शन कप तंत्र का उपयोग करके एक -एक करके अलग किया जाता है। 8 इंच वेफर कैसेट में खिलाए जाने से पहले क्षतिग्रस्त वेफर्स को सीसीडी प्रणाली द्वारा पहचाना और रिपोर्ट किया जाता है। पूर्ण कैसेट स्वचालित रूप से डाला जाता है, और डिगुमिंग सेक्शन से कैसेट के परिवहन/अनलोडिंग को एक स्वचालित जोड़तोड़ द्वारा नियंत्रित किया जाता है। मैनिपुलेटर पूर्ण कैसेट की व्यवस्था करता है और इसे बाद की सफाई मशीन के फीडिंग स्टेशन पर भेजता है। क्लीनिंग मशीन के मैनिपुलेटर तब दो रासायनिक सफाई टैंकों, दो रिंसिंग टैंक और अंतिम व्यवस्था और आउटपुट से पहले एक गर्म हवा सूखने की प्रक्रिया के माध्यम से कैसेट का परिवहन करते हैं। संपूर्ण प्रणाली को एक सतत प्रक्रिया चैनल के रूप में डिज़ाइन किया गया है, जिसे केवल वर्कपीस और कैसेट लोड करने के लिए ऑपरेटर की आवश्यकता होती है।

एकीकृत क्लीनर लोडिंग, सफाई और अनलोडिंग पदों पर प्रक्रिया संख्या और कैसेट आईडीएस को ट्रैक करने के लिए तीन बारकोड स्कैनर से सुसज्जित है। वेफर उत्पादन प्रबंधन इन कोडों के आधार पर संचालित होता है। टचस्क्रीन में आसान डेटा पुनर्प्राप्ति के लिए एक फ्रंट - माउंटेड मेमोरी कार्ड शामिल है, और रिकॉर्ड किए गए डेटा को सीधे होस्ट कंप्यूटर द्वारा सीधे एक्सेस किया जा सकता है। कैसेट लोडिंग प्रोसेस में एक थर्मल प्रिंटर प्रिंट्स वर्क ऑर्डर मार्क्स।

प्रमुख विद्युत घटकों को ओमरोन, मित्सुबिशी, फेस्टो, एसएमसी और कीनेस से आयात किया जाता है, जो विश्वसनीय प्रदर्शन, लंबी सेवा जीवन और स्थिर संचालन सुनिश्चित करता है।

वेफर degumming, विभाजन और सफाई के लिए डिज़ाइन किया गया।

दो प्रकार के वर्कपीस के साथ संगत: इनगोट डिगुमिंग और स्लाइसिंग (डायमंड वायर कटिंग या स्लरी कटिंग)।

• क्षमता:360 टुकड़े/घंटा।

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