वेफर दो - द्रव एकल - साइड ब्रशिंग और क्लीनिंग स्पिन - ड्रायर (दो - के साथ SIC क्लीनर {- सूखने के साथ डिवाइस, सिंगल - स्टेशन अनलोडिंग डिवाइस, एफएफयू शोधन इकाई, विद्युत नियंत्रण प्रणाली, पाइपिंग सिस्टम और वायवीय प्रणाली।
उत्पाद पैरामीटर
1.प्रोडक्शन फ्लो:
लोड → स्थान → रोटेशन, ब्रशिंग, क्लीनिंग, दो - द्रव छिड़काव → रोटेशन, स्पिन - सूखने → अनलोड
2. मेजोर सामग्री:
धातु फ्रेम
पीपी व्हाइट बोर्ड
3.transportation:
वेफर्स को एक साफ रोबोटिक हाथ द्वारा ले जाया जाता है।
उत्पाद सुविधाएँ और अनुप्रयोग
वेफर सतह से अवशिष्ट कणों को हटा देता है।
उत्पाद विवरण
वाशिंग चैंबर की क्षमता:
1 वेफर
विशिष्ट उत्पादन बैच समय:
लगभग . 144 सेक/टुकड़ा (ब्रश समय समायोज्य है)
मानक आकार:
6 इंच (mm150 मिमी) और 8 इंच (mm200 मिमी)
गैर - मानक आकार:
φ150 ~ 153 मिमी और φ200 ~ 203 मिमी
अनुप्रयोग परिदृश्य
◇ अक्टूबर 2023 में, दो - द्रव ब्रशिंग स्पिन - के साथ SIC क्लीनर ने R & D को पूरा किया और टेस्ट रनिंग में प्रवेश किया।
लोकप्रिय टैग: दो द्रव ब्रशिंग स्पिन के साथ sic क्लीनर - सुखाने, चीन sic क्लीनर दो द्रव ब्रशिंग स्पिन के साथ - सूखने वाले निर्माता
